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反应离子刻蚀的主要工艺参数
纳瑞科技（北京）有限公司(IonBeamTechnologyCo.,Ltd.)成立于2006年，是由在聚焦离子束（扫描离子显微镜）应用技术领域有着多年经验的技术骨干创立而成。离子刻蚀是微电子制造工艺中...
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